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> 扩散硅压力传感器原理及应用
扩散硅压力传感器原理及应用
发布日期:2010-12-01 浏览次数:3170
扩散硅压力传感器原理及应用
被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷), 使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
扩
散
硅
压
力
传
感
器
原
理
及
应
用
原
理
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